ASML meldt nieuw productierecord
Het record werd vrijwel gelijktijdig gevestigd door 2 verschillende Aziatische makers van geheugenchips op 2 verschillende lithografische scanners: een XT:870 en een XT:400. Welke 2 klanten het record ‘op hun naam’ wisten te zetten, wil ASML niet bekendmaken.
Shutterstock
© Shutterstock
Uit één 300mm wafer zijn - na 35 tot 40 belichtingen - zo tussen de 1200 en 1400 DRAM-chips te vervaardigen, zodat het dagrecord waarschijnlijk goed is voor zo’n 130 000 tot 150 000 chips.
Ook nauwkeurigheid is van belang
Sinds de introductie in 2000 hebben de Twinscan-machines van ASML snel furore gemaakt bij de Aziatische chipmakers en foundries. Er zijn inmiddels meer dan 1000 systemen geleverd aan partijen als Hynix, Samsung, Toshiba en TSCM.
Naast snelheid, productiesnelheid en bedrijfszekerheid is ook nauwkeurigheid van de belichting een belangrijk kwaliteitscriterium waarop de lithografiemachines worden beoordeeld. Minutieuze variaties in de scherpte van de lithografie, de spoorbreedte of de materiaaldepositie leiden namelijk tot overeenkomstige variaties in de interne signaaldoorvoer, met nadelig effect voor de performance van de gehele chip.
Gerelateerde artikelen
Gerelateerde artikelen
Reacties
Om een reactie achter te laten is een account vereist.
Inloggen Word abonnee