Zwevend magnetentapijt als positioneringssysteem voor EUV-lithografie
Een zwevend tapijt dat bestaat uit honderden magneten kan als positioneringsplaat dienen voor de nieuwe chipproductietechnologie Extreme UV-lithografie. Dat lost een groot probleem op. Bij extreme UV-lithografie wordt de essentiële belichtingsstap niet meer gedaan in lucht maar in vacuüm. De conventionele positioneringssystemen kunnen echter niet in vacuüm opereren. De magneetplaat kan dat wel.
Shutterstock
Shutterstock