ASML wil instituut voor nanolithografie

Het is de bedoeling dat het INL in het derde kwartaal van dit jaar het levenslicht ziet. In eerste instantie zal FOM-onderdeel AMOLF het instituut besturen. In 2015 moet het INL een onafhankelijke instantie worden onder bestuur van het FOM en de universiteiten. Het INL dat gevestigd wordt in het Amsterdamse Science Park, zal bestaan uit ongeveer 100 wetenschappers.

ASML zorgt voor ruim 1/3 deel van budget INL

Het INL gaat onderzoek verrichten dat essentieel is voor innovatie in de wereldwijde halfgeleiderindustrie. ASML neemt meer dan een derde van het budget van het instituut voor zijn rekening en investeert circa 30 miljoen euro gedurende 10 jaar.

FOM en NWO trekken er gedurende die periode 25 miljoen euro voor uit en de universiteiten leveren een gezamenlijke bijdrage van 12,5 miljoen euro. De gemeente Amsterdam heeft 5 miljoen euro toegezegd voor de opstartkosten.

Technologiebaas ziet noodzaak van fundamenteel onderzoek

Chief technology officer (CTO) Martin van den Brink zegt dat ASML de noodzaak ziet voor fundamenteel lange-termijnonderzoek naar nanolithografie "dat zich niet richt op het maken van een concreet product maar op het verkennen van technologische mogelijkheden". Dit onderzoek zal gebeuren naast de bestaande samenwerking van ASML met universiteiten en onderzoeksinstituten.

De oprichters verwachten dat het INL zal profiteren van het overheidsbeleid voor Topconsortia voor Kennis en Innovatie (TKI) en dat er nog eens 25 miljoen euro kan worden aangetrokken uit onder meer Europese programma's. Al met al wordt gerekend op 100 miljoen euro voor 10 jaar.